Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
Mierdel-Bau
Technische Universität Dresden
    Anlagen
  • 2 Zentrallüftungsgeräte
  • Prozessabluft Reinraumzentrum
  • Entrauchungssteuerung
  • Heizungssteuerung
  • Kälteerzeugung